PI(Physik Instrumente)六軸精密壓電平臺

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領域的解決方案供應商。
   PI不僅開發和生產各種定位平臺和執行器，用于線性，旋轉和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應客戶特定的應用或提供用于運動和定位的成品子系統。

產品應用領域：
半導體制造
醫學工程
生物技術
工廠工程
表面計量
天文學

產品系列：
納米定位壓電彎曲平臺

微型平臺

線性平臺

線性執行器

旋轉平臺

XY位移平臺

六足位移臺

設計系統

快速多通道光子學對準

P-587 六軸精密壓電平臺

§ 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 掃描

§ 線性行程為800 微米×800 微米×200 微米

§ 大旋轉角度達1微弧度

§ 并聯運動實現更快的響應時間和更高的 多軸精度

§ 電容式傳感器帶來gao線性度

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

§ 六 自由度主動補償

應用領域

§ 干涉測量

§ 計量

§ 納米壓印

§ 半導體測試

§ 半導體制造

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。

PI(Physik Instrumente)六軸精密壓電平臺